当社の平盤ダイコーターでどこまで薄膜塗工が可能かテストをしてみました。
基材は厚薄の無いクリスタルガラス、塗工液は
低粘度のレジストです。
Wet2μからスタートしWet0.7μまで全く問題無く塗工が可能でした。
今度はWeto.5μに入力して塗工しましたが、45度の傾斜をつけながら塗工が出来なくなりました。
これが限界と判断しテスト完了としました。
塗工環境と基材の厚薄、定盤平坦度、ダイスリットの精度、Gap精度などを完璧に調整出来ればWet1μは
十分可能であると実証出来ました。