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Wet1μ塗工の実績

2014年6月24日 火曜日

塗工Wet1μ当社の平盤ダイコーターでどこまで薄膜塗工が可能かテストをしてみました。

基材は厚薄の無いクリスタルガラス、塗工液は

低粘度のレジストです。

Wet2μからスタートしWet1μまで全く問題無く塗工が可能でした。さらに、Wet量を減らしてWet

0.75μまで下げると、ほんのわずかな目に見えない

程度のガラスについた埃が原因かダイリップは

ガラス面をこすってしまいました。清掃を何回か

繰り返し4回目で全面塗工が可能となりました。

今度はWeto.5μに入力して塗工しましたが、45度の傾斜をつけながら塗工が出来なくなりました。

これが限界と判断しテスト完了としました。

塗工環境と基材の厚薄、定盤平坦度、ダイスリットの精度、Gap精度などを完璧に調整出来ればWet1μは

十分可能であると実証出来ました。