‘グローブボックス’ カテゴリーのアーカイブ

Wet-On-Wet  2層ダイコーター(ダイリップ自動洗浄装置付)

2015年1月15日 木曜日

wetonwet

本装置は塗工ダイヘッド2棟設け片持ちにした狭幅塗工専用機です。

特徴は下記の通りとなっています。

1.片持ち式なので、全ての操作が全面で処理できます。

2.非常に小型なので、小型のグローブボックスに収納できます。

3.ダイリップによる、サックバック液供給方式により液量5ccでも塗工可能です。

4.摺動式リップ自動洗浄クリーナーにより、塗工寸前にリップ先端横面を数回拭き取ります。

汚れたら60度回転し新しい吸水布に切り替わります。

5.ダイヘッドは加温装置が付属されております。

6.定盤にもフィルムヒーターが設置できます。

Wet1μ塗工の実績

2014年6月24日 火曜日

塗工Wet1μ当社の平盤ダイコーターでどこまで薄膜塗工が可能かテストをしてみました。

基材は厚薄の無いクリスタルガラス、塗工液は

低粘度のレジストです。

Wet2μからスタートしWet1μまで全く問題無く塗工が可能でした。さらに、Wet量を減らしてWet

0.75μまで下げると、ほんのわずかな目に見えない

程度のガラスについた埃が原因かダイリップは

ガラス面をこすってしまいました。清掃を何回か

繰り返し4回目で全面塗工が可能となりました。

今度はWeto.5μに入力して塗工しましたが、45度の傾斜をつけながら塗工が出来なくなりました。

これが限界と判断しテスト完了としました。

塗工環境と基材の厚薄、定盤平坦度、ダイスリットの精度、Gap精度などを完璧に調整出来ればWet1μは

十分可能であると実証出来ました。