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Wet0.7μ塗工の実績

2014年6月24日 火曜日

当社の平盤ダイコーターでどこまで薄膜塗工が可能かテストをしてみました。

基材は厚薄の無いクリスタルガラス、塗工液は

低粘度のレジストです。

Wet2μからスタートしWet0.7μまで全く問題無く塗工が可能でした。

今度はWeto.5μに入力して塗工しましたが、45度の傾斜をつけながら塗工が出来なくなりました。

これが限界と判断しテスト完了としました。

塗工環境と基材の厚薄、定盤平坦度、ダイスリットの精度、Gap精度などを完璧に調整出来ればWet1μは

十分可能であると実証出来ました。