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超音波霧化粒子塗工チャンバー

2014年6月19日 木曜日

1.貯液内に内蔵した超音波装置により塗工液を霧化させます。液の分散状態のより

大きな粒子、重たい粒子は霧化されません。

2.霧化された粒子径は0.1〜4μぐらいですが、粒子同士の衝突、結合により大きな

粒子も発生しますのでメッシュの異なるフィルターにより、分級されます。

3.通過した超微粒子群はある程度蓄積させた後、ある高さのゲートをオーバーフロー

します。

4.押出された超微粒子群は数mm幅のスリット部を通過することにより層流状態を保ち、

厚い超微粒子のカーテン状態のまま落下していきます。

5.落下した超微粒子群は、速度、停止時間、往復回数が可変可能な吸着定盤で吸着された

基材の上に堆積していきます。

6.チャンバー内は微圧状態にしてあるので、堆積しなかた余分な超微粒子群は落下した

反対側のスリット部より上昇し液化トラップで液化され貯液部に回収されます。排気

のみは排出されます。

7.超微粒子の流路の壁には微小のエアー被膜を形成させているいるので、付着したり、

結露したりすることはありません。

下写真はNew卓ダイに搭載した時のものです。これにより、New卓ダイはスリットダイ塗工も霧化塗工も

兼用可能になりました。

超音波霧化、薄膜塗工、カーテン塗工、微粒子塗工

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