霧化微粒子塗工装置「MMCC」とは?

超微粒子液滴塗工装置 MMCC --Micro Mist Curtain Coater--

本装置は2015年初めて一般公開された、斬新でユニークなアイデアを結集した低粘度液薄膜塗工装置です。均一な超薄膜塗工が可能だけではなく、霧化粒子チャンバー内循環方式により無駄な塗工液が発生しにくい構造体となっています。

MMCCの特徴

液体状態で数十nmから5μの超微粒子化が可能です。

超微粒子液滴のみ通過させ、大きな粒子は除去します。

微粒子を蓄積させ、乱流・縮流を押さえます。

均一なスリット部でカーテン形成させます。

自然落下によりカーテン状微粒子は無理なく基材に付着・堆積されます。

基材に付着しなかった粒子はチャンバー内圧により上昇し、液化部で液化され液壺に戻ります。

粒子の通過壁にはエアカーテンがあり粒子は付着しません

基材の段差、曲面にも塗工が可能です。

マスキングによりパターン印刷が可能です。

霧化粒子発生チャンバー